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電鑄模具制作流程:
(1)模具基底前處理包括高純度鎳基板的機械加工前處理和表面清洗,表面清洗采用有機溶劑除油法,有機溶劑采用丙酮和乙醇;
(2)在微電鑄母模的制作工序中,SU-8光刻膠與種子層采用光刻技術中的套刻工藝,通過光刻膠的顯影得到自由空間;
(3)在微電鑄工序中,將電鑄鎳金屬填充于自由空間中,微電鑄電鑄液的配方為氨基磺酸鎳:360~380g/L、氯化鎳:5~10g/L、硼酸:50~60g/L;微電鑄工藝條件為:PH值:3.5~4.0、溫度:50℃~55℃、電流密度1~2A/dm2。
(4)在微電鑄后處理工序中,先進行真空退火處理,其溫度為200~800℃、時間為60~200分鐘;再進行精磨加工。 按照該方法制作的微電鑄金屬模具具有側壁垂直度、表面光潔度好的優點,解決基于模塑法、熱壓法的大規模、低成本生產的聚合物、塑料產品質量低下的問題。適用于有機聚合物、塑料的微細加工。